加工设备的标准偏差

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加工设备的标准偏差本发明提供一种偏差监测系统及偏差监测方法、等离子体加工设备，偏差监测系统用于监测被加工工件被置于支撑单元的上方时是否在标准作业区域和标准作业面，标准作业区域为在支撑单元的承载面上预设的放置被加工工件的区域；标准作业面为被加工工件被顶离支撑单元的承载面时其所在的预设水平面；偏差监测系统包括中心偏差检测单元和水平度偏差检测单元，其中，中心偏差检测单元用于检测被加工工件与标准作业区域的中心位置之间的中心偏差；水平度偏差检测单元用于检测被加工工件与标准作业面之间的角度偏差。本发明提供的偏差监测系统，其无需打开反应腔室就能够检测被加工工件的中心偏差和水平度偏差，从而提高了等离子体加工设备的加工效率。该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，未经北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。买。

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